ISL OpenIR  > 青海盐湖研究所知识仓储
分子纳米层作为铜扩散阻挡层的研究进展(二):表征手段
王亚斌; 刘忠; 李武; 董亚萍; 黄玉东
2016
Source Publication功能材料
Issue9Pages:9027-9030
Abstract国内对分子纳米层作为铜扩散阻挡层的研究,以及对分子纳米层性能测试的仪器和方法比较欠缺。因此,本文介绍了表征有机分子纳米层作为铜扩散阻挡层的测试方法,包括热性能测试,电学性能测试,粘接性能测试,形貌测试和分子模拟。重点介绍了粘接性能测试的方法和原理,并分析了由此技术带来的新研究方向。
Keyword分子纳米层 扩散阻挡层 粘接层 铜固定化
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WOS Keyword分子纳米层 ; 扩散阻挡层 ; 粘接层 ; 铜固定化
Document Type期刊论文
Identifierhttp://ir.isl.ac.cn/handle/363002/4136
Collection青海盐湖研究所知识仓储
盐湖资源综合利用工程技术中心
盐湖资源与化学实验室
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GB/T 7714
王亚斌,刘忠,李武,等. 分子纳米层作为铜扩散阻挡层的研究进展(二):表征手段[J]. 功能材料,2016(9):9027-9030.
APA 王亚斌,刘忠,李武,董亚萍,&黄玉东.(2016).分子纳米层作为铜扩散阻挡层的研究进展(二):表征手段.功能材料(9),9027-9030.
MLA 王亚斌,et al."分子纳米层作为铜扩散阻挡层的研究进展(二):表征手段".功能材料 .9(2016):9027-9030.
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