Knowledge Management System Of Qinghai Institute of Salt Lakes,CAS
| 分子纳米层作为铜扩散阻挡层的研究进展(二):表征手段 | |
王亚斌; 刘忠 ; 李武; 董亚萍; 黄玉东
| |
| 2016 | |
| 发表期刊 | 功能材料
 |
| 期号 | 9页码:9027-9030 |
| 关键词 | 分子纳米层 扩散阻挡层 粘接层 铜固定化 |
| 摘要 | 国内对分子纳米层作为铜扩散阻挡层的研究,以及对分子纳米层性能测试的仪器和方法比较欠缺。因此,本文介绍了表征有机分子纳米层作为铜扩散阻挡层的测试方法,包括热性能测试,电学性能测试,粘接性能测试,形貌测试和分子模拟。重点介绍了粘接性能测试的方法和原理,并分析了由此技术带来的新研究方向。 |
| URL | 查看原文 |
| 文献类型 | 期刊论文 |
| 条目标识符 | http://ir.isl.ac.cn/handle/363002/4136 |
| 专题 | 中国科学院青海盐湖研究所 盐湖资源综合利用工程技术中心 盐湖资源与化学实验室 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 王亚斌,刘忠,李武,等. 分子纳米层作为铜扩散阻挡层的研究进展(二):表征手段[J]. 功能材料,2016(9):9027-9030. |
| APA | 王亚斌,刘忠,李武,董亚萍,&黄玉东.(2016).分子纳米层作为铜扩散阻挡层的研究进展(二):表征手段.功能材料(9),9027-9030. |
| MLA | 王亚斌,et al."分子纳米层作为铜扩散阻挡层的研究进展(二):表征手段".功能材料 .9(2016):9027-9030. |
| 条目包含的文件 | ||||||
| 文件名称/大小 | 文献类型 | 版本类型 | 开放类型 | 使用许可 | ||
| 分子纳米层作为铜扩散阻挡层的研究进展_二（497KB） | 期刊论文 | 出版稿 | 开放获取 | ODC ODbL | 浏览 请求全文 | |
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