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分子纳米层作为铜扩散阻挡层的研究进展(一):分子纳米层 期刊论文
功能材料, 2016, 期号: 8, 页码: 8068-8073
作者:  王亚斌;  刘忠;  李武;  董亚萍;  黄玉东
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分子纳米层  扩散阻挡层  粘接层  铜固定化  
分子纳米层作为铜扩散阻挡层的研究进展(二):表征手段 期刊论文
功能材料, 2016, 期号: 9, 页码: 9027-9030
作者:  王亚斌;  刘忠;  李武;  董亚萍;  黄玉东
Adobe PDF(497Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：96/1  |  提交时间：2017/08/10
分子纳米层  扩散阻挡层  粘接层  铜固定化